CF₄
Нерастворим в воде.Это галогенированный углеводород, и его можно считать галогенированным углеводородом, галогенированным метаном, перфторуглеродом или неорганическим соединением.В основном используется в различных процессах плазменного травления интегральных схем, а также используется в качестве лазерного газа и хладагента.